Patterned Sapphire Substrate,PSS /圖形化基板

由於藍寶石基板與氮化鎵之間晶格常數差異,導致穿隧差排的產生,而穿隧差排會造成內部量子效率下降,因此許多團隊以減少差排數量作為其研究目標,而圖形化藍寶石基板為一種方法

在利用線狀遮罩進行濕式蝕刻後,會出現不同的面,因此在本研究中,想利用其原理來進行磊晶,期望可以長出大面積 zinc-blende 結構的 GaN